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Elli-SE (Ellipsometer)
PAGE INFORMATION
DATE 19-09-04 16:27본문
薄膜厚度检测系统
光谱椭圆测量仪(SE)是一种工业标准技术，可以精确测量薄膜的厚度和光学常数，同时，它也被用于各种材料(如电介质、半导体、有机物等)的表征，包括AR涂层、OLED和低（高）介电常数材料。
◈特征(FEATURE)
1.操作简单，快速测量
2.高重复性
3.人性化操作
4.非接触&无损伤
5.多膜层
6.在线测量（磁控溅射,ALD,PECVD,等等）
◈参数 (SPECIFICATION)
测量常数 | 膜层厚度，折射率n，消光系数k，波长λ |
膜厚范围 | 亚埃级-10μm（取决于膜层） |
波长范围 | 220 ~ 850 nm (uv) or 380 ~ 1050 nm |
光谱范围选项 | |
- (Duv:193nm, IR: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm) | |
测量能力 | 正常模式（~10 sec） |
快速模式（1~3 sec）每点（取决于膜层） | |
束斑直径-尺寸 | 1.5 mm (可选 100μm, 50 μm, 20 μm) |
入射角 | 45°~90°（手动，5°每阶） |
膜层数量 | 多至10层（取决于膜层） |
重复性(3σ) | 10次测量在±0.3 Å |
色散关系 | Cauchy, |
Sellmeier, | |
Lorentz, | |
Tauc-Lorentz, | |
Quantum-Mechanical, | |
Drude-TL, | |
Drude-QM and more | |
提供功能 |
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折射率、消光系数和光带隙 薄膜密度和组成，材料的色散函数库 用户定义的模型功能，数据导入和导出功能，- 可扩展库 |
◈选项 (OPTION)
1.自动映射平台（R/θ, 150 mm, 200 mm, 300 mm,客户定制尺寸, 2D,3D显示）
2.光谱范围选项（紫外: 193 nm ~ 1,050 nm），（红外：900nm ~ 1,700nm, 900nm~ 2,200nm）
3.微点选项（100μm, 50μm）
4.自动对准系统
5.自动改变入射角（45°~ 90°）
◈应用 (APPLICATION)
- 介质层，半导体