Elli-RSc (Reflectometer) > Spectroscopic Reflectometer & Transmittance

液晶光学性质的测量系统传输与反射法

光谱反射仪(SR)系统采用工业标准技术，可用微小光斑实时测量薄膜厚度和光学常数，用于各种材料的表征。（例如：电介质，半导体，有机物等）。在大尺寸带有图案的样品表征应用中非常实用。

◈ 性能(PERFORMANCE)

 容易操作 ，快速测量，非接触和非破坏性
 重复性能高，2D,3D 映射数据显示 (逐点)
 CCD摄像 + 自动聚焦- 抗震台
 真正的时时检测：X-Y-Z运动控制
 用户计划测量脚本

◈ 参数(SPECIFICAION)

 1. 波长(光源) : 450nm ~ 900nm
 2. 光斑尺寸 : 50um, 30um, 10um
 3. 放大：x5, x10, x20
 4. 膜片厚度范围 : 10nm –50μm (根据膜片种类)
 5. 层数 : 大于 3 层 (根据膜片种类)
 6. 测量速度 : <1Sec. 秒/点 (根据膜片种类)
 7. 重复性 : ±1Å on 10次测量

◈ 应用(APPLICATION)

- 光学特性及复折射率和厚度和反射率。
 - 厚度的聚合物，电介质，半导体，媒体等
 - 支持背面反射

​

◈ 选择(OPTION)

  - 抗振动台
  - 光斑大小4um
  - 新的光谱法M- FFT
  - 自动绘图系统
  - 透过率测量系统