MgO Film Thickness Measurement System (MgO 膜厚检测设备) > Etc

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该分光反射计是对用作PDP电池保护层的MgO薄膜进行监测的优化设计。Ellipso Technology具有先进独特的m-FFT软件测厚技术，结合伪基板分析技术，能够准确、快速地测量厚介质和图形基板表面的MgO膜厚。该仪器最适合于介质和/或图案的大尺寸样品的薄膜厚度监测。

◈ 性能(DESCRIPTION)

使用光谱反射（SR）的系统在展示过程中提供各种薄膜厚度高精度的测量。 艾利普送科技拥有独特的和技术先进的、准确性高的M – FFT膜厚快速测量分析软件。

◈ 参数(SPECIFICAION)

1. 波长范围 : 250nm~950nm(紫外线)
2. 厚度范围 : 0.4um~50um
3. 厚度精度 : ~1nm
4. 重复性 : ±0.25%
5. 测量速度 : 0.5~2 秒的设置
6. 光斑尺寸 : 1mm~10mm
7. 足迹 : 3000 X 4000 (玻璃的大小而定)
8. 段速 : 200mm/sec
9. 中阶段 : 2000 X 3000mm (可定制)

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◈ 应用(APPLICATION)

PDP面板玻璃图案或无图案氧化镁薄膜

◈ 选择(OPTION)

紫外线，定制等测绘阶段