타원계 1 페이지

	타원계 이론
	타원계(ellipsometer)란...
	Ellipsometer는 빛의 편광상태 측정에 기초한 편광광도계(polarimeter)의 일종으로 보다 넓게는 광도계 (photometry)로 분류될 수 있다. 빛의 편광 상태의 변화를 측정하여 표면 및 박막 구조와 물성, 물질의 광물성 등을 연구하는데 사용되는 초정밀 분석계측기이다. 반사 또는 투과되는 빛의 편광상태는 시료의 물성과 구조에 따라 예민하게 변하므로 시료의 물성과 구조에 대한 정보를 예민하게 얻을 수 있어서 ellipsometer는 반도체 산업의 산화막의 두께 및 밀도분포 측정을 포함한 박막 분석에 널리 사용되고 있다. 최근 반도체, 광학재료의 제조 공정에 있어서 공정제어를 위한 in situ 측정의 필요성이 증대되고 있다. 이에 따라 시료의 표면 상태와 박막의 구조해석 능력이 뛰어난 타원계를 in situ 측정 및 분석에 이용하는 사례가 증가하고 있다. Ellipsometer는 크게 분광인 spectroscopic ellipsometer(SE)와 단파장(또는 2파장)인 single wavelength ellipsometer(SWE), dual wavelength ellipsometer(DWE)으로 나눌 수 있는데 SE는 복잡하거나 물질이 알려져 있지 않은 시료의 두께, 광학적 흡수단의 구조해석에 유리하지만 증착, 에칭, 열처리, 표면 반응 등의 공정 관측에는 연속적인 데이터 획득이 유리한 단파장 타원계가 널리 이용되고 있다.
	타원계의 분류표
	Ellipsometer 이론과 응용